聚焦粒子束（FIB）

产品介绍

品牌：日立 （日本）

日立高分辨聚焦离子束显微镜（型号：NX5000）

主要特点：

1. 高分辨冷场发射电子枪，实现高分辨观察（0.7nm@15kV）

2. 全新的Aquila α镜筒和多探测器实现不同观察目的

3. 大束流（100nA）、高稳定性离子枪实现快速加工

4.  实时观察、多探针系统和7轴样品台等技术有效防止窗帘效应

5. 第三束Ar的引入实现无损和超薄样品的加工

6. 多种沉积气体可选

7. 全自动TEM样品制备