光发射显微镜（EMMI、OBIRCH）

产品介绍

品牌：滨松（日本）

微光显微镜PHEMOS系列

PHEMOS-1000是一款标准型高分辨率微光显微镜，其包含了一个红外共焦激光显微镜。PHEMOS-1000可根据设备环境和设备装置来灵活改变包括插座板到300mm双面晶片探针等等的部件。它还可以适配高灵敏度近红外相机和高分辨率纳米透镜等选配件。该显微镜有多种选配，包括红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析、与大规模集成电路测试机连接和CAD导航功能等，这些选配有助于该显微镜处理多种测量需要。

黑盒照明灯含水银，请根据当地法规处理。

特性

1. 可选配适用于高分辨率、高灵敏度观测的纳米透镜

2. 红外共焦激光显微镜

3. 红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析功能（选配）

4. 低电压样品用高灵敏度近红外相机（选配）

5. 数字lock-in组件加强红外-光致阻值改变的检测能力（选配）

6. 可安装300mm双面半自动探针

显示功能

PHEMOS-1000将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰，细节更多。
显示功能

注释
图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号。

比例显示
可使用分段，在图像上显示比例宽度。

栅格显示
图像上可现实水平和垂直栅格。

缩略图显示
图像可以以缩略图的形式存储和调用，stage坐标等图像信息也可显示。

分屏显示
模板图像、发光图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上。