• 

  综合物性测量仪

• 

  激光共聚焦显微镜

• 

  C-V测试仪

• 

  静电衰减测试仪

• 

  PL荧光光谱测量系统

• 

  稳态/瞬态荧光光谱仪

• 

  激光拉曼光谱仪

• 

  2D及3D X射线检测

• 

  红外光谱(FTIR）

• 

  二次离子质谱（SIMS）

• 

  光发射显微镜（EMMI、OBIR

• 

  扫描声学显微镜（SAM)